AC200自動去邊勻膠機

簡要描述：全新外觀設計，適配實驗室實驗操作
*進的設計理念，模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復性

產(chǎn)品分類

詳細介紹

品牌	LEBO/雷博	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應用領域	能源,電子/電池

產(chǎn)品特點

全新外觀設計，適配實驗室實驗操作，讓實際操作更加順手

*進的設計理念，模塊化設計，參考人性化設計理念

可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復性

產(chǎn)品參數(shù)

轉速范圍：20-10000rpm

轉速分辨率：±1rpm

加速度可調范圍：20-50000rpm/s

單步時長：3000s

時間分辨率：0.1s

適用基片尺寸：4/6/8寸標準晶圓

去邊精度：去除晶圓邊緣3±0.5mm

可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）

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